Mikrokanalvorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Mikrokanalvorrichtung
EP2416162
Art A1
8. Februar 2012
Anmelder: Shinwa Chemical Industries, Ltd., Tokyo Electron Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2416162
- Aktenzeichen
- EP10758642
- Anmeldetag
- 29. März 2010
- Veröffentlichung
- 8. Februar 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N35/08B01J19/00B81B1/00G01N30/26G01N37/00G01N30/60
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Shinwa Chemical Industries, Ltd.
Tokyo Electron Limited - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
2.414 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Menges, Christian Alexander
München, Deutschland
68
Patente gesamt
19
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Diehl & Partner
Diehl & Partner · München
-
Diehl & Partner GbR
Diehl & Partner GbR · München