Verfahren zur selektiven Abscheidung eines Halbleitermaterials
EP2416350
Art A1
8. Februar 2012
Anmelder: IMEC 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2416350
- Aktenzeichen
- EP10172129
- Anmeldetag
- 6. August 2010
- Veröffentlichung
- 8. Februar 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/285H01L21/768H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- IMEC
- Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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Gabriel, Kiroubagaranne
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