Prozesskammer mit Modulierter Plasmaversorgung

EP2417619 Art B1 16. November 2016

Anmelder: Forschungsverbund Berlin e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2417619
Aktenzeichen
EP10717569
Anmeldetag
31. März 2010
Veröffentlichung
16. November 2016
Erteilung
16. November 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Forschungsverbund Berlin e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Scheffler, Marco Berlin, Deutschland
18
Patente gesamt
12
Fachgebiete
6
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Nachrichtentechnik & Telekommunikation Elektronik & Schaltungstechnik Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
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