Verfahren zur Substratverarbeitung
EP2417623
Art B1
6. April 2016
Anmelder: Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc., Varian Semiconductor Equipment Associates 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2417623
- Aktenzeichen
- EP10762439
- Anmeldetag
- 8. April 2010
- Veröffentlichung
- 6. April 2016
- Erteilung
- 6. April 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/266H01L31/18H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Varian Semiconductor Equipment Associates - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.
Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.
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Fachgebiete
Kanzlei
Becker Kurig & Partner
München, Deutschland
Becker Kurig & Partner wurde 1999 in München gegründet und tritt heute als Galileo Law auf, mit Sitz nahe Deutschem und Europäischem Patentamt. Die Kanzlei deckt Chemie, Biochemie, Maschinenbau, Elektronik und Telekommunikation ab und vertritt Mandanten auch in Marken-, Design- und IP-Streitverfahren.
3.267
Patente gesamt
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1
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