Moduliertes Multifrequenzverarbeitungssystem

EP2417625 Art A2 15. Februar 2012

Anmelder: LAM Research Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2417625
Aktenzeichen
EP10762274
Anmeldetag
6. April 2010
Veröffentlichung
15. Februar 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/3065H05H1/24H05H1/36H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
LAM Research Corporation
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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