Polierschmiere und Verfahren zum Polieren eines Substrats

EP2418258 Art A1 15. Februar 2012

Anmelder: Hitachi Chemical Company, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2418258
Aktenzeichen: EP11184474
Anmeldetag: 20. Februar 2002
Veröffentlichung: 15. Februar 2012
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/02H01L21/3105C09K3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi Chemical Company, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi Chemical

Ehemaliges japanisches Chemieunternehmen, das Materialien für Halbleiter, Batterien und Verbundwerkstoffe herstellte. Ging nach mehreren Umfirmierungen im Konzern Resonac auf.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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