System und Verfahren mit automatischer Justierungsfunktion zum Messen der Dicke eines Substrats

EP2418457 Art A1 15. Februar 2012

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2418457
Aktenzeichen: EP10172311
Anmeldetag: 9. August 2010
Veröffentlichung: 15. Februar 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G01B11/06G01B11/24G01B11/27

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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