Binärer Fotomaskenrohling und Verfahren zur Herstellung einer binären Fotomaske

EP2418542 Art B1 13. Mai 2015

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2418542
Aktenzeichen: EP11176233
Anmeldetag: 2. August 2011
Veröffentlichung: 13. Mai 2015
Erteilung: 13. Mai 2015
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/32G03F1/58G03F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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