Poliervorrichtung

EP2418677 Art B1 7. Dezember 2016

Anmelder: Ebara Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2418677
Aktenzeichen
EP11008956
Anmeldetag
31. Oktober 2005
Veröffentlichung
7. Dezember 2016
Erteilung
7. Dezember 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/304B24B37/04B24B47/22B24B49/16B24B37/30B24B37/005B24B37/10B24B37/32B24B49/00
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Ebara Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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