Scrubber-Reinigung vor der Chemisch-Mechanischen Polierung (cmp) des Oxids für Verringerte Mikrokratzer und Verbesserte Ausbeuten
EP2419921
Art A1
22. Februar 2012
Anmelder: Microchip Technology Incorporated 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2419921
- Aktenzeichen
- EP10717925
- Anmeldetag
- 12. April 2010
- Veröffentlichung
- 22. Februar 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/02H01L21/3105
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Microchip Technology Incorporated
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Microchip Technology
US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Chandler, Arizona, bekannt für Mikrocontroller und analoge Halbleiterbauelemente.
1.426 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Grubert, Andreas
München, Deutschland
875
Patente gesamt
31
Fachgebiete
11
Anmelder-Länder
Schwerpunkte