Wärmeverwaltung von Beschichtungsverfahren

EP2420588 Art A1 22. Februar 2012

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2420588
Aktenzeichen
EP10172965
Anmeldetag
16. August 2010
Veröffentlichung
22. Februar 2012
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/16C23C14/54C03B27/016C23C16/46
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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