Verfahren für Immersionslithografie
EP2420891
Art B1
23. Juni 2021
Anmelder: Rohm and Haas Electronic Materials LLC 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2420891
- Aktenzeichen
- EP11189819
- Anmeldetag
- 30. Oktober 2007
- Veröffentlichung
- 23. Juni 2021
- Erteilung
- 23. Juni 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F7/004G03F7/038G03F7/039
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Rohm and Haas Electronic Materials LLC
- Land
- 🇺🇸 USA
Fachgebiete
Vertreten von
Kent, Venetia Katherine
Paris, Frankreich
1.169
Patente gesamt
29
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte