Substratträgermechanismus und Substratträgerverfahren

EP2421034 Art B1 22. Januar 2014

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2421034
Aktenzeichen: EP11178081
Anmeldetag: 19. August 2011
Veröffentlichung: 22. Januar 2014
Erteilung: 22. Januar 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO ELECTRON LIMITED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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