Saubere Koronagasionisierung zur Neutralisierung Statischer Ladungen
Anmelder: Illinois Tool Works Inc., MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2422219
- Aktenzeichen
- EP10767438
- Anmeldetag
- 23. April 2010
- Veröffentlichung
- 18. November 2020
- Erteilung
- 18. November 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01T1/185
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Illinois Tool Works Inc.
MKS Instruments, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanischer Mischkonzern, der Ausrüstung und Komponenten für Bereiche wie Schweißtechnik, Bauwesen, Lebensmittelverpackung und Fahrzeugtechnik entwickelt und fertigt.
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MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Fachgebiete
-
HGF
HGF · München