Membran für Lithographiedruck und Herstellungsverfahren dafür
EP2423747
Art B1
16. Juni 2021
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2423747
- Aktenzeichen
- EP10766760
- Anmeldetag
- 2. Februar 2010
- Veröffentlichung
- 16. Juni 2021
- Erteilung
- 16. Juni 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/027G03F1/64G03F1/24G03F1/62
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
4.656 Patente in unserer Datenbank
Kanzlei
WP Thompson
Bereits 1873 gegründet, eine der traditionsreichsten britischen Patent- und Markenkanzleien mit Büros in London, Liverpool und Cardiff. Begleitet von der Anmeldung bis zur Verwertung, einschließlich Litigation vor dem Einheitlichen Patentgericht.
6.281
Patente gesamt
4
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Smaggasgale, Gillian Helen
NoneLondon
-
Gill, David Alan
WP Thompson · London