Verwendung von Trialkylaluminium für das Wachstum von Al2O3-Dünnfilmen für photovoltaische Anwendungen
Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE, Technische Universiteit Eindhoven 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2426136
- Aktenzeichen
- EP10305955
- Anmeldetag
- 3. September 2010
- Veröffentlichung
- 1. Mai 2013
- Erteilung
- 1. Mai 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07F5/06C23C16/455// H01L31/0216
Abstract
A composition comprising, for 100% of its total mass, at least 97% of a Trialkylaluminium and: - From 200 ppb to 5 ppm of Mo (Molybdenum); - From 1000 ppb to 5 ppm of Fe (Iron); - From 200 ppb to 5 ppm of Cu (Copper); - From 200 ppb to 10 ppm of Ta (Tantalum).
Anmelder
- Firmen
- L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
Technische Universiteit Eindhoven - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
3.725 Patente in unserer Datenbank
Die Technische Universiteit Eindhoven ist eine niederländische Technische Hochschule mit breiter Forschung in Medizintechnik, Halbleitertechnik und Materialwissenschaften. Ihr Patentportfolio deckt Medizintechnik, Halbleiterbauelemente, Mess- und Softwaretechnik ab.
329 Patente in unserer Datenbank