Verwendung von Trialkylaluminium für das Wachstum von Al2O3-Dünnfilmen für photovoltaische Anwendungen
EP2426136
Art B1
1. Mai 2013
Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE, Technische Universiteit Eindhoven 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2426136
- Aktenzeichen
- EP10305955
- Anmeldetag
- 3. September 2010
- Veröffentlichung
- 1. Mai 2013
- Erteilung
- 1. Mai 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C07F5/06C23C16/455// H01L31/0216
Abstract
A composition comprising, for 100% of its total mass, at least 97% of a Trialkylaluminium and: - From 200 ppb to 5 ppm of Mo (Molybdenum); - From 1000 ppb to 5 ppm of Fe (Iron); - From 200 ppb to 5 ppm of Cu (Copper); - From 200 ppb to 10 ppm of Ta (Tantalum).
Anmelder
- Firmen
- L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
Technische Universiteit Eindhoven - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Air Liquide
Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.
2.774 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Grout de Beaufort, François-Xavier
Paris, Frankreich
183
Patente gesamt
20
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte