Zusammensetzung zur Bildung einer dielektrischen Dünnschicht, Verfahren zur Bildung einer dielektrischen Dünnschicht und durch das Verfahren gebildete dielektrische Dünnschicht

EP2426684 Art A1 7. März 2012

Anmelder: MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2426684
Aktenzeichen
EP10305942
Anmeldetag
2. September 2010
Veröffentlichung
7. März 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01G7/06C04B35/47H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
MITSUBISHI MATERIALS CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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