Verfahren zur Herstellung einer Nitrid-Halbleiter-Kristallschicht
EP2426701
Art A1
7. März 2012
Anmelder: Kabushiki Kaisha Toshiba 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2426701
- Aktenzeichen
- EP11156399
- Anmeldetag
- 1. März 2011
- Veröffentlichung
- 7. März 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/20H01L21/205H01L21/762H01L21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kabushiki Kaisha Toshiba
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Toshiba
Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München