Verfahren zur Ablagerung eines Chemischen Verbundhalbleiters und Vorrichtung
Anmelder: The University of Tokyo, V Technology Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2426702
- Aktenzeichen
- EP10769521
- Anmeldetag
- 28. April 2010
- Veröffentlichung
- 7. März 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/205C23C16/48C23C14/54C23C16/52C30B25/00C23C16/30C30B29/40H01L21/02H01L33/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- The University of Tokyo
V Technology Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
Japanische Universität mit Sitz in Tokio, eine der führenden Forschungsuniversitäten Asiens. Die Universität ist in nahezu allen wissenschaftlichen und technischen Disziplinen aktiv, darunter Materialwissenschaften, Elektrotechnik, Biotechnologie und Medizin.
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V Technology ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Displays und Halbleiter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Fertigungs- und Messtechnik. Anmeldungen laufen von 2005 bis in die Gegenwart.
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