Verfahren zur Ablagerung eines Chemischen Verbundhalbleiters und Vorrichtung
EP2426702
Art A1
7. März 2012
Anmelder: The University of Tokyo, V Technology Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2426702
- Aktenzeichen
- EP10769521
- Anmeldetag
- 28. April 2010
- Veröffentlichung
- 7. März 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/205C23C16/48C23C14/54C23C16/52C30B25/00C23C16/30C30B29/40H01L21/02H01L33/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- The University of Tokyo
V Technology Co., Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
University of Tokyo
Japanische Universität mit Sitz in Tokio, eine der führenden Forschungsuniversitäten Asiens. Die Universität ist in nahezu allen wissenschaftlichen und technischen Disziplinen aktiv, darunter Materialwissenschaften, Elektrotechnik, Biotechnologie und Medizin.
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