Substrathalterung, Belichtungsvorrichtung und Bauelementherstellungsverfahren

EP2426708 Art B1 10. Juli 2013

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2426708
Aktenzeichen: EP11190907
Anmeldetag: 20. März 2006
Veröffentlichung: 10. Juli 2013
Erteilung: 10. Juli 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/687H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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