Druckbasiertes Gasabgabesystem und Verfahren zur Verringerung der Gefahren im Zusammenhang mit der Speicherung und Abgabe von Hochdruckgasen

EP2428286 Art A3 18. Mai 2016

Anmelder: ENTEGRIS INC., Advanced Technology Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2428286
Aktenzeichen
EP11158920
Anmeldetag
29. Mai 2003
Veröffentlichung
18. Mai 2016
Rechtsraum
EP
IPC
B08B9/027B08B5/00G05B11/01G06F15/00F17C5/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ENTEGRIS INC.
Advanced Technology Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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