Elektrostatische Ionenfalle
EP2430646
Art B1
27. Februar 2019
Anmelder: MKS Instruments, Inc., Brooks Automation, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2430646
- Aktenzeichen
- EP10772778
- Anmeldetag
- 5. Mai 2010
- Veröffentlichung
- 27. Februar 2019
- Erteilung
- 27. Februar 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J49/42H01J49/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- MKS Instruments, Inc.
Brooks Automation, Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Jenkins, Peter David
London, Großbritannien
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