Elektrostatisches Futter mit Polymerprotrusionen

EP2430654 Art B1 25. Dezember 2019

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2430654
Aktenzeichen
EP10775520
Anmeldetag
13. Mai 2010
Veröffentlichung
25. Dezember 2019
Erteilung
25. Dezember 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/687B23Q3/15H02N13/00H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
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