Verfahren zum Ätzen eines Materials in Gegenwart eines Gases
Anmelder: Institut Polytechnique de Grenoble, Université Grenoble Alpes, Université Joseph Fourier, Universite Joseph Fourier 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2432586
- Aktenzeichen
- EP10728751
- Anmeldetag
- 12. Mai 2010
- Veröffentlichung
- 18. Mai 2016
- Erteilung
- 18. Mai 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/311H01L21/3213
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Institut Polytechnique de Grenoble
Université Grenoble Alpes
Université Joseph Fourier
Universite Joseph Fourier - Land
- 🇫🇷 Frankreich
Französische Ingenieurhochschule (Grenoble INP) mit Forschungsschwerpunkten in Informatik, Elektrotechnik, Materialwissenschaften und Energietechnik.
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Französische Universität mit Sitz in Grenoble, entstanden aus Zusammenschluss mehrerer Hochschulen, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.
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Fachgebiete
Casalonga besteht seit 1867 und zählt zu den ältesten französischen Kanzleien für gewerblichen Rechtsschutz, mit Büros in Paris, München, Düsseldorf, Mailand und Alicante. Neben Patenten deckt sie Marken, Designs sowie Wein- und Agrarrecht ab und wird regelmäßig in der Financial-Times-Liste führender europäischer Patentkanzleien geführt.
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