Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung einer Quantitativen Ortsaufgelösten Lokal- und Verteilungsanalyse Chemischer Elemente und In-Situ Charakterisierung der Ablatierten Oberflächenregionen

EP2433145 Art A1 28. März 2012

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2433145
Aktenzeichen: EP10725000
Anmeldetag: 28. April 2010
Veröffentlichung: 28. März 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G01Q30/02G01N30/72H01J49/04H01J49/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Forschungszentrum Jülich GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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