Verfahren zum Ätzen eines Materials bei Anwesenheit von Festpartikeln

EP2433297 Art B1 24. Juni 2015

Anmelder: Institut Polytechnique de Grenoble, Université Grenoble Alpes, Université Joseph Fourier, Universite Joseph Fourier 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2433297
Aktenzeichen: EP10728752
Anmeldetag: 12. Mai 2010
Veröffentlichung: 24. Juni 2015
Erteilung: 24. Juni 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306H01L21/311C23F1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Institut Polytechnique de Grenoble
Université Grenoble Alpes
Université Joseph Fourier
Universite Joseph Fourier
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Institut Polytechnique de Grenoble

Französische Ingenieurhochschule (Grenoble INP) mit Forschungsschwerpunkten in Informatik, Elektrotechnik, Materialwissenschaften und Energietechnik.

309 Patente in unserer Datenbank

🇫🇷 Université Grenoble Alpes

Französische Universität mit Sitz in Grenoble, entstanden aus Zusammenschluss mehrerer Hochschulen, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

481 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von