Linse für einen Ladungsträger-Vielfachstrahl, Ladungsträgerstrahlbelichtungsapparatur mit einer solchen Linse und entsprechendes Herstellungsverfahren

EP2434522 Art B8 23. Juli 2014

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha, Hitachi, Ltd., Hitachi Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2434522
Aktenzeichen: EP11195133
Anmeldetag: 8. Juli 2003
Veröffentlichung: 23. Juli 2014
Erteilung: 23. Juli 2014
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/317H01J37/12B82Y10/00B82Y40/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Canon Kabushiki Kaisha
Hitachi, Ltd.
Hitachi Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

19.202 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Hitachi

Japanischer Konzern, der Technik für Energie, Bahn, Industrieanlagen, Informationstechnik und Haushaltsgeräte entwickelt und herstellt.

21.149 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von