Systeme und Verfahren zur Bildung von Halbleitermaterialien durch Atomschichtabscheidung

EP2436801 Art B1 8. Mai 2013

Anmelder: Soitec 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2436801
Aktenzeichen
EP11183538
Anmeldetag
30. September 2011
Veröffentlichung
8. Mai 2013
Erteilung
8. Mai 2013
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/30C23C16/448C23C16/455C30B25/02C30B29/40
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Soitec
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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