Struktur eines Substratstütztisches, und Plasmaverarbeitungsvorrichtung
EP2436802
Art A1
4. April 2012
Anmelder: Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2436802
- Aktenzeichen
- EP10780508
- Anmeldetag
- 24. Mai 2010
- Veröffentlichung
- 4. April 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/44H01L21/3065H01L21/683
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Mitsubishi Heavy Industries, Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Mitsubishi Heavy Industries
Japanischer Industriekonzern, der in Bereichen wie Energieerzeugung, Luft- und Raumfahrt, Schiffbau, Maschinenbau und Klimatechnik tätig ist und ein breites Spektrum an Industrieanlagen und -maschinen herstellt.
5.548 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Siegert, Georg
München, Deutschland
452
Patente gesamt
33
Fachgebiete
22
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München