Reinigungsmittel für Halbleitersubstrat und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterelements

EP2437284 Art B1 26. August 2015

Anmelder: Fujifilm Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2437284
Aktenzeichen: EP11182691
Anmeldetag: 26. September 2011
Veröffentlichung: 26. August 2015
Erteilung: 26. August 2015
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306G03F7/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujifilm Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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