Chemisch-mechanisches Polierverfahren für Halbleitervorrichtung unter Verwendung einer wässrigen Dispersion

EP2437285 Art A2 4. April 2012

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2437285
Aktenzeichen: EP11189876
Anmeldetag: 20. Februar 2008
Veröffentlichung: 4. April 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/3105C09G1/02C09K3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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