Mikromechanisches Einstellbares Fabry-Perot-Interferometer, Zwischenprodukt davon und Herstellungsverfahren dafür

EP2438411 Art B1 10. Mai 2023

Anmelder: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy, Teknologian Tutkimuskeskus VTT 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2438411
Aktenzeichen
EP10780112
Anmeldetag
28. Mai 2010
Veröffentlichung
10. Mai 2023
Erteilung
10. Mai 2023
Rechtsraum
EP
IPC
G01J3/26G02B5/28G02B26/00B81B3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Teknologian Tutkimuskeskus VTT
Land
🇫🇮 Finnland

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik
Vertreten von
Kupiainen, Juhani Kalervo Helsinki, Finnland
274
Patente gesamt
30
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Nachrichtentechnik & Telekommunikation Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Anzeige-, Signal- & Kontrolltechnik
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