Mikromechanisches Einstellbares Fabry-Perot-Interferometer, Zwischenprodukt davon und Herstellungsverfahren dafür
EP2438411
Art B1
10. Mai 2023
Anmelder: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy, Teknologian Tutkimuskeskus VTT 🇫🇮
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2438411
- Aktenzeichen
- EP10780112
- Anmeldetag
- 28. Mai 2010
- Veröffentlichung
- 10. Mai 2023
- Erteilung
- 10. Mai 2023
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01J3/26G02B5/28G02B26/00B81B3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Teknologian Tutkimuskeskus VTT - Land
- 🇫🇮 Finnland
🇫🇮
VTT Technical Research Centre of Finland
VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.
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Berggren Oy · Helsinki