Siliciumstift-Nanolithographie

EP2438608 Art A2 11. April 2012

Anmelder: Northwestern University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2438608
Aktenzeichen
EP10784163
Anmeldetag
4. Juni 2010
Veröffentlichung
11. April 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/00B81C1/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Northwestern University
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Northwestern University

Private US-amerikanische Universität mit Hauptsitz in Evanston, Illinois, bekannt für Forschung in Ingenieurwissenschaften, Medizin und Materialwissenschaften.

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