Strahlungsempfindliche Harzzusammensetzung, Polymer und Verfahren zur Bildung einer Resiststruktur

EP2439590 Art A1 11. April 2012

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2439590
Aktenzeichen: EP10783419
Anmeldetag: 2. Juni 2010
Veröffentlichung: 11. April 2012
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/039C08F20/26H01L21/027G03F7/004G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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