Oberflächenbehandlungszusammensetzung, Oberflächenbehandlungsverfahren und Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung

EP2439767 Art A1 11. April 2012

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2439767
Aktenzeichen: EP10783375
Anmeldetag: 1. Juni 2010
Veröffentlichung: 11. April 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304B24B37/00C09K3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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