Verfahren und System für ein Stabiles und Einstellbares Hochleistungs-Impulslasersystem

EP2441141 Art A1 18. April 2012

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc., ESI-Pyrophotonics Lasers Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2441141
Aktenzeichen: EP10785637
Anmeldetag: 10. Juni 2010
Veröffentlichung: 18. April 2012
Rechtsraum: EP
IPC: H01S5/0687H01S5/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Electro Scientific Industries, Inc.
ESI-Pyrophotonics Lasers Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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