Musterherstellungsverfahren, Verwendung einer Chemisch Verstärkten Resistzusammensetzung in Diesem Verfahren

EP2443513 Art A1 25. April 2012

Anmelder: FUJIFILM Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2443513
Aktenzeichen
EP10789599
Anmeldetag
14. Juni 2010
Veröffentlichung
25. April 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/038C07C309/06C07C309/17C07C311/48C07C317/04C07C381/12G03F7/004G03F7/039G03F7/32H01L21/027G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Organische Chemie
Vertreten von
Wiedemann, Peter München, Deutschland
391
Patente gesamt
32
Fachgebiete
20
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Schwerpunkte
Medizintechnik & Gesundheit Optik & Fototechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Verfahrens- & Trenntechnik
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