Spektralreinigungsfilter und Verfahren zur Herstellung eines Spektralreinigungsfilters

EP2443517 Art B1 16. Januar 2013

Anmelder: ASML Netherlands B.V., Koninklijke Philips Electronics B.V., ASML Netherlands BV 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2443517
Aktenzeichen: EP10737312
Anmeldetag: 21. Juli 2010
Veröffentlichung: 16. Januar 2013
Erteilung: 16. Januar 2013
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B5/22G02B7/00G21K1/06H01L21/00B81C1/00B81C99/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
Koninklijke Philips Electronics B.V.
ASML Netherlands BV
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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