Gekühlte Teilchenstrahlsysteme und Verfahren

EP2443644 Art B8 15. Mai 2013

Anmelder: Carl Zeiss Microscopy, LLC, Carl Zeiss NTS, LLC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2443644
Aktenzeichen
EP10742622
Anmeldetag
14. Juni 2010
Veröffentlichung
15. Mai 2013
Erteilung
15. Mai 2013
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/08H01J37/02H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Carl Zeiss Microscopy, LLC
Carl Zeiss NTS, LLC.
Land
🇺🇸 USA
🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

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