Prozessmodul zur Inline-Behandlung von Substraten
EP2443649
Art A1
25. April 2012
Anmelder: RENA GmbH, Siltronic AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2443649
- Aktenzeichen
- EP10726433
- Anmeldetag
- 14. Juni 2010
- Veröffentlichung
- 25. April 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00H01L21/677
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- RENA GmbH
Siltronic AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Siltronic
Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.
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Vertreten von
Stürken, Joachim
Freiburg, Deutschland
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