Rissminderung auf einer Metallischen/organischen Dielektrischen Schnittstelle
EP2443653
Art A1
25. April 2012
Anmelder: IMEC, NEC Corporation 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2443653
- Aktenzeichen
- EP09779849
- Anmeldetag
- 19. Juni 2009
- Veröffentlichung
- 25. April 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L23/532H01L21/60H01L21/768
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- IMEC
NEC Corporation - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
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