Verfahren zur Herstellung Mikromechanischer Resonatoren mit Hochdichten Grabenanordnungen für Passive Temperaturkompensation
EP2443745
Art A1
25. April 2012
Anmelder: Georgia Tech Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2443745
- Aktenzeichen
- EP10726747
- Anmeldetag
- 4. Juni 2010
- Veröffentlichung
- 25. April 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H03H3/007H03H9/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Georgia Tech Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Georgia Tech Research Corporation
Die Georgia Tech Research Corporation ist die Einrichtung des Georgia Institute of Technology in den USA, die Forschungsverträge verwaltet und geistiges Eigentum der Universität lizenziert.
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Vaughan, Christopher Tammo
Leeds, Großbritannien
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