Polierflüssigkeitszusammensetzung für Siliziumwafer

EP2444996 Art B1 20. April 2016

Anmelder: Kao Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2444996
Aktenzeichen: EP10797104
Anmeldetag: 5. Juli 2010
Veröffentlichung: 20. April 2016
Erteilung: 20. April 2016
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304B24B37/00// C09G1/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kao Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kao

Japanischer Konsumgüter und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio. Kao entwickelt Produkte und Technologien für Körperpflege, Kosmetik, Haushaltsreiniger sowie chemische Spezialstoffe.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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