Reinigungsuntersystem für ein Lithographiesystem mit variablen Daten
EP2447086
Art B1
27. Mai 2015
Anmelder: Palo Alto Research Center Incorporated 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2447086
- Aktenzeichen
- EP11187189
- Anmeldetag
- 28. Oktober 2011
- Veröffentlichung
- 27. Mai 2015
- Erteilung
- 27. Mai 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B41N3/00B41C1/10B41F31/00B41F35/02B41F7/00B41F31/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Palo Alto Research Center Incorporated
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Palo Alto Research Center
US-amerikanisches Forschungsinstitut in Palo Alto, bekannt als PARC, das für Xerox und externe Auftraggeber Grundlagen- und angewandte Forschung in Informatik, Elektronik und Materialwissenschaften betreibt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Jones, Helen M.M
London, Großbritannien
946
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Fachgebiete
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Gill Jennings & Every LLP
Gill Jennings & Every LLP · London