Magnetische Schaltung für eine Sputtervorrichtung
EP2450937
Art A3
27. März 2013
Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2450937
- Aktenzeichen
- EP11187867
- Anmeldetag
- 4. November 2011
- Veröffentlichung
- 27. März 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/34C23C14/35H01F41/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Chemical
Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.
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Kanzlei
Maschio & Soames IP Limited
Maschio & Soames IP Limited wurde 2012 von Dr. Candi Soames und Dr. Tony Maschio in Southampton gegründet. Versteht sich als von Wissenschaftlern und Ingenieuren geführtes Haus, Schwerpunkt Einspruchs- und Beschwerdeverfahren vor dem Europäischen Patentamt.
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