Verfahren zur Herstellung einer Speicherstruktur mit Freischwebegate

EP2450945 Art B1 29. Mai 2013

Anmelder: IMEC 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2450945
Aktenzeichen: EP10190373
Anmeldetag: 8. November 2010
Veröffentlichung: 29. Mai 2013
Erteilung: 29. Mai 2013
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/28H01L21/8247

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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