Verfahren zur Entfernung eines Ferroelektrischen Csd-Beschichtungsfilms

EP2450946 Art B1 18. Januar 2017

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP2450946
Aktenzeichen: EP10793905
Anmeldetag: 21. April 2010
Veröffentlichung: 18. Januar 2017
Erteilung: 18. Januar 2017
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/306H01L21/316

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsubishi Materials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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