Einkapselungssstruktur einer Mikrovorrichtung, die ein Getter-Material umfasst
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2450949
- Aktenzeichen
- EP11188107
- Anmeldetag
- 7. November 2011
- Veröffentlichung
- 27. April 2016
- Erteilung
- 27. April 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L23/26H01L23/31B81B7/00
Abstract
The structure (100) has a cavity (106) in which a micro-device (104) is provided. The cavity is bounded by substrate (102) and another substrate (108) that is integral with the former substrate through a bonding interface (110) consisting of metal or dielectric material. A main face (112) of the latter substrate facing the former substrate is covered with a getter material layer (114). The interface is provided between the former substrate and the layer. The latter substrate forms a continuous cap. The layer has a thickness between about 100 nanometers and 2 micrometers. An independent claim is also included for a method for producing an encapsulating structure of a micro-device.
Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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