Vorrichtung und Verfahren zur Handhabung eines Beschädigten Substrats für Substratverarbeitungssysteme
EP2452358
Art A1
16. Mai 2012
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP2452358
- Aktenzeichen
- EP09736889
- Anmeldetag
- 7. Oktober 2009
- Veröffentlichung
- 16. Mai 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/687H01L21/00
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Fachgebiete
Kanzlei
GLP S.R.L
Udine, Italien
GLP wurde 1967 von Gilberto Luigi Petraz in Udine gegründet und wird heute von seinen Söhnen geleitet, mit weiteren Standorten in Mailand, Perugia, San Marino und Zürich. Das Financial Times Statista Ranking stufte GLP wiederholt in die „Gold“-Kategorie ein, über mehrere technische Bereiche hinweg.
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Patente gesamt
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