Tiegel zur Aufnahme eines Werkstoffs, der mit einem CVD- oder PVD-Verfahren verdampft werden soll

EP2453037 Art B1 5. September 2018

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP2453037
Aktenzeichen
EP11008878
Anmeldetag
8. November 2011
Veröffentlichung
5. September 2018
Erteilung
5. September 2018
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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